Vaakuum-aurustus

Tallinna Tehnikaülikool, Inseneriteaduskond, Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut
Teenuse kirjeldus
Süsteem on võimeline sadestama kõrgkvaliteetseid ühtlaseid kilekihte. Varustusse kuulub substraadi pöörlemisseade ja substraadi kuumutusseade. Substraadi maksimaalsed mõõtmed: kolm 7×9 cm või mitu väiksemat substraati. Substraadi maksimaalne temperatuur: 500 °C. Käitamisrõhu: 1•10-6 mBar. 4 aurustusallikad: 2 kõrgtemperatuuri “paadid” ja 2 tiiglid (kuni 500 °C). Kontrollitav kihi paksus (2 QCM andurid).
Seotud teenused
Pole päris see mida otsid?
Kõiki teenuseid ei pruugi meie lehel välja olla toodud. Kui sa ei leidnud õiget teenust või ei tea täpselt, millist teenust vaja, siis saada meile päring.
Saada päring