Õhukeste kihtide sadestamine

Tartu Ülikool

Tartu Ülikool, Loodus- ja tehnoloogiateaduskond, Tartu Ülikooli Keemia Instituut, Rakenduselektrokeemia õppetool

  • Kellega saame edasi suhelda?

Teenuse kirjeldus

Õhukeste kihtide valmistamine magnetron pihustus (tolmustus) meetodil. Näiteks 1 mikromeetri paksune alumiinium kiht, mille saab sadestada klaasile, plastikkilele, paberile jne. 20 nm ITO või süsiniku kiht klaasile kui läbipaistev elektrijuht. 500 nm räni kiht sadestatuna 600 oC juures. 500 nanomeetrine nikli kiht korrosiooni kaitseks või katalüsaatoriks. 200 nm titaandioksiidi kiht. Olemasolevad gaasid: N2 (saab nitriide sadestada), H2, O2.
Sadestatava ala suurus on maksimaalselt 148 x 210 mm. Aparaadi baasvaakum 10-9 – 10-10 Torr. Füüsikaline ja reaktiivne (titaanist titaandioksiid) sadestamine. Kuni 3 elemendi samaaegne sadestamine. >25 kõrge puhtusega metalli ja oksiidi ketast on kohapeal juba olemas.

Teenuse valdkond
Energia tootmine ja ülekanne Vaata kõiki
Füüsika, keemia ja materjaliteadus Vaata kõiki
Adapteril on peale selle teenuse veel 18 teenusepakkujat ja 719 teenust
Näita sarnased teenuseid

Seotud teenused

Pole päris see mida otsid?

Kõiki teenuseid ei pruugi meie lehel välja olla toodud. Kui sa ei leidnud õiget teenust või ei tea täpselt, millist teenust vaja, siis saada meile päring.

Saada päring