Impulsslaser-pihustus

Tallinna Tehnikaülikool

Tallinna Tehnikaülikool, Inseneriteaduskond, Materjali- ja keskkonnatehnoloogia instituut

  • Kellega saame edasi suhelda?

Teenuse kirjeldus

Süsteem on võimeline sadestama kõrgkvaliteetseid ühtlaseid kilekihte. Varustusse kuulub substraadi pöörlemisseade ja substraadi kuumutusseade. Substraadi maksimaalsed mõõtmed: üks 2-tolline või mitu väiksemat substraati.
Substraadi maksimaalne temperatuur: 900 °C
Käitamisrõhu vahemik: 5•10-7 Torr kuni 500 mTorr.
Sihtobjekti mõõtmed: kuus 1 või kolm 2-tollise läbimõõduga sihtobjekti.
Laser: UV eksimeerlaser, impulssenergia ligikaudu 400 mJ, maksimaalne kordusmäär 20 Hz, keskmine võimsus 6 W, impulsi kestus 20 ns, operatsiooniline lainepikkus 248 nm.

Teenuse valdkond
Füüsika, keemia ja materjaliteadus Vaata kõiki
Adapteril on peale selle teenuse veel 19 teenusepakkujat ja 1060 teenust
Näita sarnased teenuseid

Seotud teenused

Pole päris see mida otsid?

Kõiki teenuseid ei pruugi meie lehel välja olla toodud. Kui sa ei leidnud õiget teenust või ei tea täpselt, millist teenust vaja, siis saada meile päring.

Saada päring